Zusammensetzung und Verfahren zur Entfernung von Ionenimplantiertem Fotolack

EP2190967 Art A2 2. Juni 2010

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2190967
Aktenzeichen
EP08827598
Anmeldetag
20. August 2008
Veröffentlichung
2. Juni 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/42H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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