Verfahren und System zum Herstellen einer mikroskopischen Struktur auf einem Werkstück unter Verwendung einer auf diesem Werkstück geformten Maske

EP2191927 Art B1 8. Januar 2014

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2191927
Aktenzeichen
EP09176974
Anmeldetag
25. November 2009
Veröffentlichung
8. Januar 2014
Erteilung
8. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B23K26/18B23K26/36B23K26/06G03F7/004G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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