Verfahren unter Verwendung von Aminovinylsilan-Ausgangsstoffne für die Abscheidung von SiN-Filmen mit intrinsischer Druckspannung
EP2192207
Art B1
20. Juni 2012
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2192207
- Aktenzeichen
- EP09175806
- Anmeldetag
- 12. November 2009
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2012
- Erteilung
- 20. Juni 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/34C23C16/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
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5
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Schwerpunkte