Vorrichtung und Verfahren zur Ausrichtung Optischer Systeme

EP2192433 Art B1 26. Dezember 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2192433
Aktenzeichen: EP08834606
Anmeldetag: 16. September 2008
Veröffentlichung: 26. Dezember 2012
Erteilung: 26. Dezember 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/00G02B7/182G02B23/06G02B7/198G01S7/481G01S7/497G01S17/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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