Mikrolithographie-Projektionssystem mit einer zugänglichen Aperturblende
EP2192446
Art B1
19. Oktober 2011
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2192446
- Aktenzeichen
- EP10002198
- Anmeldetag
- 4. März 2006
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2011
- Erteilung
- 19. Oktober 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Schultz, Jörg Martin
Oberkochen, Deutschland
22
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Sawodny, Michael-Wolfgang
Sawodny Patentanwalt · Ulm