Epitaktisches Sic-Einkristallsubstrat und Verfahren zur Herstellung von Epitaktischem Sic-Einkristallsubstrat

EP2196566 Art A1 16. Juni 2010

Anmelder: Showa Denko K.K., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Central Research Institute of Electric Power Industry, National Institute of Advanced Industrial Science And Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2196566
Aktenzeichen: EP08829974
Anmeldetag: 12. September 2008
Veröffentlichung: 16. Juni 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/36C30B25/20C23C16/42H01L21/205C23C16/32C23C16/46C30B25/02H01L21/02

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firmen: Showa Denko K.K.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Central Research Institute of Electric Power Industry
National Institute of Advanced Industrial Science And Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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