Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe

EP2196669 Art B1 23. Juli 2014

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2196669
Aktenzeichen
EP09014532
Anmeldetag
20. November 2009
Veröffentlichung
23. Juli 2014
Erteilung
23. Juli 2014
Rechtsraum
EP
IPC
F04C25/02F04B35/04F04B37/14F04B49/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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