Elektronenstrahlvorrichtung und Verfahren zu deren Ansteuerung

EP2197016 Art B1 12. Februar 2014

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2197016
Aktenzeichen
EP09252728
Anmeldetag
4. Dezember 2009
Veröffentlichung
12. Februar 2014
Erteilung
12. Februar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/147H01J37/244H01J37/28H01J37/153
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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