Solarbatterie-Herstellungsverfahren

EP2197043 Art A1 16. Juni 2010

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2197043
Aktenzeichen
EP08832433
Anmeldetag
17. September 2008
Veröffentlichung
16. Juni 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/18C23C14/08C23C14/35
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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