Verfahren zur Bildung von mikroskopischen Strukturen auf einem Substrat
EP2199433
Art A1
23. Juni 2010
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2199433
- Aktenzeichen
- EP09179781
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2009
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B25/02C23C16/04C30B23/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
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28
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4
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