Verfahren zur Dämpfung eines Gegenstands, Aktivdämpfungssystem und lithographische Vorrichtung

EP2202426 Art A3 3. Mai 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2202426
Aktenzeichen
EP09176591
Anmeldetag
20. November 2009
Veröffentlichung
3. Mai 2017
Rechtsraum
EP
IPC
F16F15/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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