Verfahren zur Dämpfung eines Gegenstands, Aktivdämpfungssystem und lithographische Vorrichtung
EP2202426
Art A3
3. Mai 2017
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2202426
- Aktenzeichen
- EP09176591
- Anmeldetag
- 20. November 2009
- Veröffentlichung
- 3. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16F15/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
van de Ven, Jan-Piet
Eindhoven, Niederlande
19
Patente gesamt
9
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
EP&C
EP&C · Rijswijk
-
Seitz, Holger Fritz Karl
NoneRijswijk
-
Maas, Abraham Johannes
NoneVeldhoven