Optischer Modulator

EP2202568 Art B1 5. September 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2202568
Aktenzeichen
EP09178865
Anmeldetag
11. Dezember 2009
Veröffentlichung
5. September 2018
Erteilung
5. September 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/29
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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