Vorrichtung zur Erzeugung von Mikroblasen

EP2202782 Art B1 22. Februar 2012

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2202782
Aktenzeichen
EP09015555
Anmeldetag
16. Dezember 2009
Veröffentlichung
22. Februar 2012
Erteilung
22. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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