Chalkogenidfilm und Verfahren zu Seiner Herstellung
EP2207216
Art B1
9. Juli 2014
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2207216
- Aktenzeichen
- EP08836407
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2008
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2014
- Erteilung
- 9. Juli 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L45/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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