Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Platzierungsfehlern auf Masken
EP2209046
Art A1
21. Juli 2010
Anmelder: Pixer Technology Ltd. 🇮🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2209046
- Aktenzeichen
- EP09000560
- Anmeldetag
- 16. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F1/14G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pixer Technology Ltd.
- Land
- 🇮🇱 Israel
Fachgebiete
Vertreten von
Müller, Utz
Jena, Deutschland
6
Patente gesamt
4
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte