Abscheidung einer Schutzschicht durch Sputtern mittels eines Strahls geladener Teilchen und Bearbeitung der Schicht mittels eines Strahls geladener Teilchen
EP2209047
Art B1
6. Januar 2016
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2209047
- Aktenzeichen
- EP10159048
- Anmeldetag
- 14. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 6. Januar 2016
- Erteilung
- 6. Januar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/30H01J37/302H01J37/305B23K15/00B23K15/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
882 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte