Verfahren zur deterministischen Steuerung des Oberflächenbilds bei der Polierung mit voller Apertur
Anmelder: Lawrence Livermore National Security, LLC, Suratwala, Tayyab Ishaq, Feit, Michael Dennis, Steele, William Augustus 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2213412
- Aktenzeichen
- EP10152206
- Anmeldetag
- 29. Januar 2010
- Veröffentlichung
- 10. Januar 2018
- Erteilung
- 10. Januar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B1/00B24B7/22B24B37/04B24B53/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lawrence Livermore National Security, LLC
Suratwala, Tayyab Ishaq
Feit, Michael Dennis
Steele, William Augustus - Land
- 🇺🇸 USA
Lawrence Livermore National Security ist die Betreibergesellschaft des Lawrence Livermore National Laboratory, eines US-Forschungslabors für nationale Sicherheit und Energie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Fertigungstechnik, ergänzt durch Optik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2002 bis 2025.
559 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Mathys & Squire wurde 1910 gegründet und blickt auf über ein Jahrhundert Erfahrung zurück, mit zahlreichen britischen Standorten sowie Luxemburg, München und Paris und Teams in China und Japan, beraten auch auf Deutsch und Chinesisch.