Elektronenstrahl-Skizzenätzung mit hoher Selektivität und geringer Schädigung
EP2214200
Art B1
23. Juli 2014
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2214200
- Aktenzeichen
- EP10152144
- Anmeldetag
- 29. Januar 2010
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2014
- Erteilung
- 23. Juli 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01L21/311H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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