Mehrstufige Trockenpumpe

EP2221482 Art B1 15. April 2015

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2221482
Aktenzeichen
EP08850687
Anmeldetag
12. November 2008
Veröffentlichung
15. April 2015
Erteilung
15. April 2015
Rechtsraum
EP
IPC
F04C28/02F04C18/12F04C23/00F01C21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von

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