Verfahren zur Herstellung eines Siliciumeinkristalls und Verfahren zur Herstellung eines Siliciumwafers

EP2226412 Art B1 4. April 2012

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2226412
Aktenzeichen
EP10153672
Anmeldetag
16. Februar 2010
Veröffentlichung
4. April 2012
Erteilung
4. April 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C30B15/20C30B29/06C30B33/02H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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