Berarbeitung mit einem geladenen Teilchenstrahl

EP2226830 Art B1 8. Januar 2014

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2226830
Aktenzeichen
EP10155688
Anmeldetag
5. März 2010
Veröffentlichung
8. Januar 2014
Erteilung
8. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/04H01J37/30H01J37/302H01J37/305B81C99/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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