Verfahren zur Herstellung von Strukturen mit Verbesserter Kantendefinition

EP2232531 Art B1 19. September 2018

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2232531
Aktenzeichen
EP08860374
Anmeldetag
6. November 2008
Veröffentlichung
19. September 2018
Erteilung
19. September 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G03F9/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
3M Innovative Properties Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

17.130 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Gabriel, Kiroubagaranne Bruxelles, Belgien
273
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Medizintechnik & Gesundheit Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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