Lithografierobustheitsüberwachungsvorrichtung
EP2235592
Art A2
6. Oktober 2010
Anmelder: NXP B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2235592
- Aktenzeichen
- EP09705424
- Anmeldetag
- 26. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 6. Oktober 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/66H01L23/544
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NXP B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
NXP Semiconductors
Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
7.918 Patente in unserer Datenbank