Vorrichtung zur Materialuntersuchung mittels Elektronenstrahl

EP2237306 Art B1 23. Mai 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, Hitachi Science Systems, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2237306
Aktenzeichen: EP10006800
Anmeldetag: 18. März 2004
Veröffentlichung: 23. Mai 2012
Erteilung: 23. Mai 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/252G01N23/225H01J37/244H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
Hitachi Science Systems, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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