Vorrichtung zum chemischen Ätzen eines Werkstücks

EP2237309 Art B1 2. Oktober 2019

Anmelder: SPP Process Technology Systems UK Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2237309
Aktenzeichen
EP10154656
Anmeldetag
25. Februar 2010
Veröffentlichung
2. Oktober 2019
Erteilung
2. Oktober 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SPP Process Technology Systems UK Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Lambert, Ian Robert Manchester, Großbritannien
236
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung
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