Polierzusammensetzung und Polierverfahren dafür

EP2237311 Art A1 6. Oktober 2010

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2237311
Aktenzeichen
EP09705253
Anmeldetag
29. Januar 2009
Veröffentlichung
6. Oktober 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304B24B37/04C09K3/14C09G1/02H01L21/321H01L21/02H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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