Verfahren und System zur Plasmaverarbeitung
EP2242092
Art A1
20. Oktober 2010
Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2242092
- Aktenzeichen
- EP09705243
- Anmeldetag
- 20. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 20. Oktober 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/318C23C16/42H01L21/31H01L21/768H01L23/522H05H1/46C23C16/505C23C16/34H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Heavy Industries
Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.
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Kanzlei
Studio Torta S.p.A
Treviso, Italien
Studio Torta ist eine italienische IP-Boutique mit Büros in Turin, Mailand, Bologna, Rom, Treviso und Rimini, spezialisiert auf Patente, Marken, Designs und Sortenschutz, mit erkennbaren Schwerpunkten in Pharma sowie Agrar- und Lebensmittelprodukten.
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