Facettenspiegel zur Verwendung in einer Projektionsbelichtungsvorrichtung für die Mikrolithografie

EP2243047 Art B1 31. März 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2243047
Aktenzeichen: EP09709960
Anmeldetag: 6. Februar 2009
Veröffentlichung: 31. März 2021
Erteilung: 31. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/09G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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