Verfahren und Vorrichtungen zur Handhabung von Wafern mit Grossem Durchmesser
EP2243156
Art B1
12. Juli 2017
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2243156
- Aktenzeichen
- EP09700304
- Anmeldetag
- 13. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 12. Juli 2017
- Erteilung
- 12. Juli 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bumke, Jakob Wenzel
Cheddar, Großbritannien
271
Patente gesamt
29
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner mbB
Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner mbB · München
-
Geyer, Fehners & Partner
Geyer, Fehners & Partner · München