Ionenquellenreinigung in Halbleiterverarbeitungssystemen
Anmelder: ENTEGRIS, INC., Sweeney, Joseph D., Yedave, Sharad N., Byl, Oleg, Kaim, Robert, Eldridge, David, Sergi, Steven, Feng, Lin, Bishop, Steven E., Olander, Karl W., Tang, Ying, ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2248153
- Aktenzeichen
- EP09709805
- Anmeldetag
- 11. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 21. September 2016
- Erteilung
- 21. September 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/265H01J37/317H01J37/16H01J37/18C23G5/00C23C16/44H01J37/08C23C14/48C23C14/54C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS, INC.
Sweeney, Joseph D.
Yedave, Sharad N.
Byl, Oleg
Kaim, Robert
Eldridge, David
Sergi, Steven
Feng, Lin
Bishop, Steven E.
Olander, Karl W.
Tang, Ying
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.106 Patente in unserer Datenbank
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
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ABG Intellectual Property Law, S.L
ABG Intellectual Property Law, S.L · Madrid