Ionenquellenreinigung in Halbleiterverarbeitungssystemen
EP2248153
Art B1
21. September 2016
Anmelder: ENTEGRIS, INC., Sweeney, Joseph D., Yedave, Sharad N., Byl, Oleg, Kaim, Robert, Eldridge, David, Sergi, Steven, Feng, Lin, Bishop, Steven E., Olander, Karl W., Tang, Ying, ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2248153
- Aktenzeichen
- EP09709805
- Anmeldetag
- 11. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 21. September 2016
- Erteilung
- 21. September 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/265H01J37/317H01J37/16H01J37/18C23G5/00C23C16/44H01J37/08C23C14/48C23C14/54C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS, INC.
Sweeney, Joseph D.
Yedave, Sharad N.
Byl, Oleg
Kaim, Robert
Eldridge, David
Sergi, Steven
Feng, Lin
Bishop, Steven E.
Olander, Karl W.
Tang, Ying
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
Patente gesamt
34
Fachgebiete
37
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ABG Intellectual Property Law, S.L
ABG Intellectual Property Law, S.L · Madrid