Gegendotierung für Solarzellen

EP2248185 Art A2 10. November 2010

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2248185
Aktenzeichen
EP09717975
Anmeldetag
5. März 2009
Veröffentlichung
10. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/042H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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