Auftragung und Selektive Entfernung einer Leitenden Hilfsschicht für Nanostrukturbearbeitung

EP2250661 Art B1 8. April 2020

Anmelder: Smoltek AB 🇸🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2250661
Aktenzeichen
EP09715679
Anmeldetag
20. Februar 2009
Veröffentlichung
8. April 2020
Erteilung
8. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/18H01L21/203H01L21/302H01L21/3205H01L29/06H01L21/363B82Y40/00B82Y10/00C01B32/15C23C16/26C23C16/503
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Smoltek AB
Land
🇸🇪 Schweden

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Lind, Urban Arvid Oskar Göteborg, Schweden
522
Patente gesamt
33
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Elektrische Energietechnik
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