Hochpräziser Massenflussprüfer mit mehreren Eingängen

EP2255166 Art B8 16. März 2016

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2255166
Aktenzeichen
EP09721238
Anmeldetag
21. Januar 2009
Veröffentlichung
16. März 2016
Erteilung
16. März 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G01F25/00G01F22/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Kanzlei
Bardehle Pagenberg Paris, Frankreich

Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.

11.214
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