Verfahren zum Verarbeiten eines Objekts mit Miniaturisierten Strukturen

EP2257853 Art B1 25. Juli 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2257853
Aktenzeichen
EP09715092
Anmeldetag
24. Februar 2009
Veröffentlichung
25. Juli 2012
Erteilung
25. Juli 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00// C23C16/04H01J37/305C23C16/48
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMS GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Müller, Utz Jena, Deutschland
6
Patente gesamt
4
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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