Mehrphotonenbelichtungssystem

EP2257854 Art B1 31. Oktober 2018

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2257854
Aktenzeichen
EP09713903
Anmeldetag
17. Februar 2009
Veröffentlichung
31. Oktober 2018
Erteilung
31. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
3M Innovative Properties Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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