Verfahren zum Herstellen von einer Oxidschicht auf einer Siliciumcarbidschicht unter Verwendung von atomarem Sauerstoff

EP2259290 Art B1 11. März 2020

Anmelder: Cree, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2259290
Aktenzeichen
EP10179641
Anmeldetag
11. Juli 2006
Veröffentlichung
11. März 2020
Erteilung
11. März 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/321H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cree, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cree

US-amerikanischer Halbleiterhersteller, bekannt für LED- und Leistungshalbleitertechnik auf Siliziumkarbid-Basis. Das Unternehmen benannte sich 2021 in Wolfspeed um.

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