Au-haltige Schicht erhältlich mittels eines geladenen Teilchenstrahls
EP2261395
Art A1
15. Dezember 2010
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2261395
- Aktenzeichen
- EP09162532
- Anmeldetag
- 12. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C18/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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