Verfahren zur Einschätzung, ob ein Halbleiterwafer ein nicht defekter Wafer ist, durch Verwendung des Laserstreuungsverfahrens

EP2261644 Art B1 20. Februar 2019

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2261644
Aktenzeichen: EP10164908
Anmeldetag: 4. Juni 2010
Veröffentlichung: 20. Februar 2019
Erteilung: 20. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/88G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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