Vorläufer für CVD-Siliziumenthaltenden-Schichten

EP2264218 Art B1 14. November 2012

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2264218
Aktenzeichen
EP10181347
Anmeldetag
11. Mai 2006
Veröffentlichung
14. November 2012
Erteilung
14. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/36C07F7/02H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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