Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle, Vorrichtung zur Herstellung einer Solarzelle und Solarzelle
EP2264781
Art A1
22. Dezember 2010
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2264781
- Aktenzeichen
- EP09727036
- Anmeldetag
- 27. März 2009
- Veröffentlichung
- 22. Dezember 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/20H01L27/142
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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