Unselektives Oxidätz-Nassreinigungsmittel und Verwendung
EP2268765
Art A2
5. Januar 2011
Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2268765
- Aktenzeichen
- EP09717260
- Anmeldetag
- 6. März 2009
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09K13/08C11D1/62C11D3/37C11D3/33C11D3/20C11D11/00C11D7/10C11D7/26C11D7/32H01L21/311H01L21/02
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
Patente gesamt
34
Fachgebiete
37
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Schwerpunkte
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-
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