Unselektives Oxidätz-Nassreinigungsmittel und Verwendung

EP2268765 Art A2 5. Januar 2011

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2268765
Aktenzeichen
EP09717260
Anmeldetag
6. März 2009
Veröffentlichung
5. Januar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C09K13/08C11D1/62C11D3/37C11D3/33C11D3/20C11D11/00C11D7/10C11D7/26C11D7/32H01L21/311H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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