Analyseverfahren
EP2270480
Art A1
5. Januar 2011
Anmelder: Ulvac, Inc., Ulvac-Phi, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2270480
- Aktenzeichen
- EP09734458
- Anmeldetag
- 10. April 2009
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/227G01N1/32G01N23/225
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ulvac, Inc.
Ulvac-Phi, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Fachgebiete
Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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