Station und Verfahren zur Messung der Verschmutzung eines Behältnisses für den Transport von Halbleitersubstraten

EP2272083 Art B1 23. März 2016

Anmelder: Pfeiffer Vacuum, Adixen Vacuum Products, Alcatel Lucent 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2272083
Aktenzeichen
EP09745956
Anmeldetag
16. April 2009
Veröffentlichung
23. März 2016
Erteilung
23. März 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Pfeiffer Vacuum
Adixen Vacuum Products
Alcatel Lucent
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

622 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 Alcatel-Lucent

Ehemaliger französisch-amerikanischer Telekommunikationskonzern mit Sitz in Paris/Boulogne-Billancourt, entstanden 2006 aus der Fusion von Alcatel und Lucent Technologies. War aktiv in Netzwerktechnik, Telekommunikationsausrüstung und Glasfasertechnologie; seit 2016 Teil von Nokia.

14.050 Patente in unserer Datenbank

Kanzlei
Innovincia Thonon-les-Bains, Frankreich

Innovincia wurde 2006 von Thomas Croonenbroek in Thonon-les-Bains gegründet, seit 2020 Teil der Kanzleigruppe LLR mit zweitem Büro in Annecy. Begleitet Mandanten von der Anmeldung bis zur Durchsetzung in Europa, den USA und Asien, mit Freedom-to-Operate-Analysen und Portfoliobewertungen.

938
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte
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