Station und Verfahren zur Messung der Verschmutzung eines Behältnisses für den Transport von Halbleitersubstraten
Anmelder: Pfeiffer Vacuum, Adixen Vacuum Products, Alcatel Lucent 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2272083
- Aktenzeichen
- EP09745956
- Anmeldetag
- 16. April 2009
- Veröffentlichung
- 23. März 2016
- Erteilung
- 23. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Pfeiffer Vacuum
Adixen Vacuum Products
Alcatel Lucent - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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Ehemaliger französisch-amerikanischer Telekommunikationskonzern mit Sitz in Paris/Boulogne-Billancourt, entstanden 2006 aus der Fusion von Alcatel und Lucent Technologies. War aktiv in Netzwerktechnik, Telekommunikationsausrüstung und Glasfasertechnologie; seit 2016 Teil von Nokia.
14.050 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Innovincia wurde 2006 von Thomas Croonenbroek in Thonon-les-Bains gegründet, seit 2020 Teil der Kanzleigruppe LLR mit zweitem Büro in Annecy. Begleitet Mandanten von der Anmeldung bis zur Durchsetzung in Europa, den USA und Asien, mit Freedom-to-Operate-Analysen und Portfoliobewertungen.
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Sciaux, Edmond
NoneBoulogne-Billancourt