Verfahren zum Bilden einer Vorbereitungsschicht zum Abscheiden eines Metalls auf einem Substrat
EP2272085
Art A2
12. Januar 2011
Anmelder: STMicroelectronics (Tours) SAS, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2272085
- Aktenzeichen
- EP09729442
- Anmeldetag
- 30. März 2009
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/288H01L21/768C23C18/38
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- STMicroelectronics (Tours) SAS
Centre National de la Recherche Scientifique - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
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