Wafer-Container mit Röhrenförmigen Umweltsteuerkomponenten
EP2272088
Art B1
7. Dezember 2016
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2272088
- Aktenzeichen
- EP09719290
- Anmeldetag
- 13. März 2009
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2016
- Erteilung
- 7. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673B65D85/38B65D85/86B65D81/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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