Herstellung von mechanisch robusten Materialien ohne Porogenrückstände und mit niedriger dielektrischer Konstante
Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D, Katholieke Universiteit Leuven, K.U.L. Leuven R&D, IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2272996
- Aktenzeichen
- EP10168910
- Anmeldetag
- 8. Juli 2010
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/56H01L21/312
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D
Katholieke Universiteit Leuven, K.U.L. Leuven R&D
IMEC - Land
- 🇧🇪 Belgien
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
2.621 Patente in unserer Datenbank
Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D ist die Technologietransfereinrichtung der belgischen Universität Leuven. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Mess- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2021 betreffen unter anderem Diagnostik und Biomarker für die Tumortherapie.
299 Patente in unserer Datenbank
-
Patent Department IMEC
Patent Department IMEC · Leuven