Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Film für eine Lichtempfindliche Harzabstandsschicht und Halbleiteranordnung

EP2273314 Art B1 25. Juli 2012

Anmelder: Sumitomo Bakelite Company Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2273314
Aktenzeichen
EP09722561
Anmeldetag
16. März 2009
Veröffentlichung
25. Juli 2012
Erteilung
25. Juli 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/038H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Bakelite Company Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Bakelite

Sumitomo Bakelite ist ein japanischer Hersteller von Kunststoffen und Kunstharzen mit Sitz in Tokio, der unter anderem Verpackungsmaterialien, medizinische Produkte und Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Kanzlei
ZSP Patentanwälte PartG mbB München, Deutschland

Geht auf die 1992 gegründete Kanzlei Dr. Volker Vossius zurück, firmiert seit 2015 als Zwicker Schnappauf & Partner, mit Standorten in München und Berlin. Schwerpunkt auf Biotechnologie, Chemie, Medizintechnik und Pharmazie, Website in sechs Sprachen abrufbar.

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