Übertragungselektronenmikroskop und Verfahren zur Beobachtung einer Probe

EP2273528 Art B1 11. März 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2273528
Aktenzeichen: EP09738779
Anmeldetag: 27. April 2009
Veröffentlichung: 11. März 2015
Erteilung: 11. März 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20G01N1/28G01N23/225G01N1/40H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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