Quarzoszillator und Messverfahren damit
EP2278298
Art A1
26. Januar 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2278298
- Aktenzeichen
- EP09746624
- Anmeldetag
- 13. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 26. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N9/00G01N11/16G01N29/02G01N29/036G01N29/24// H01L41/047H01L41/09H01L41/187
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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