Systeme und Verfahren zum Detektieren von Defekten auf einem Wafer und zum Erzeugen von Untersuchungsergebnissen für den Wafer

EP2283516 Art A2 16. Februar 2011

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

492

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Weitere Vertreter